第519章 顶级制程科学家 (第1/3页)

在湖山接下来一周多时间，胡一亭全身心投入闪存颗粒设计之中。

因为湖研院研发的三项目前国际领先的新技术技改已经有了初步成果，所以之前对闪存颗粒进行了第一轮工程流片，已经拿出了数量极少的工程样品，但目前湖研院的实验室0.35微米制程还不成熟，尝试实验流片下，良品率低的要死，连续做了五张晶圆后经测试只得到11片合格产品。

但好在只要有了样品就会让讲解变得直观，胡一亭可以就样品对湖研院和从北都央研院赶来参与研发的诸多工程师们进行有针对性的解释，其中就有刚刚硕士毕业加入重光进行博士实习的曹玉暖，和已经在湖研院驻扎了一个星期的赵赫等北都赶来的芯片设计人员，当然还有从成光所过来的专家们，而还未离开湖山的马所也在其中，得知胡一亭今天要对国内第一次0.35微米工程流片进行技术讲解，他特意推迟了回成都的日程。

湖研院里有内部锅炉，暖气片成天都烧的滚烫，会议室热的让人冒汗，胡一亭只穿了件白长袖衬衫，单薄的羊毛西裤站在会议室前，对着电脑将样品在电子显微镜下拍摄的一张张照片用幻灯机投在屏幕上，芯片上以纳米为单位的微结构被放大如斗，

他昨晚在办公室睡了一宿，此刻精神饱满，对着长桌两侧三十多双睿智专注的眼神，侃侃而谈道：“这些照片大家开会前都已经看过，对栅极埋入层的形貌结构心里也都有数了，我来给大家分析一下，看看和大家自己做出的分析是不是一样。”

“首先我认为，我们这次工程流片之所以会出现大批不能读写的次品，良品率极低，主要原因虽然有湖研院目前的0.35微米实验制程不成熟，但再怎么不成熟，良品率也不能这么低，真正搞出次品的原因是因为我们的埋入晶圆的栅极扩散层形态异常。”

会议室里大家都松了口气，尤其是目前正在攻关实验室0.35微米制程的工程师们，都觉得胡一亭这句话实在是对他们的最大安慰。

“大家看这张电镜探伤图，左边是这次的良品，右边是这次的不合格品，左边正常形态下的埋入层扩散结构和右边的区别是很明显的，我知道大家现在一定在想，为什么会出现右边这些次品？

问题出在哪呢？我来告诉大家，根据我的判断，这是因为我们扩散层离子注入时，因为注入机的真空度不够，从而

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