第230章 流片成功！ (第3/3页)

盯着控制屏上的进度条，顾江河则紧张地记录着步骤。

12英寸的晶圆，光是一片步进曝光最终都耗时近一个半小时。

三片晶圆全都完成后，时间早已到了下午一点多。

曝光完成的硅片被吴培书迅速转移至专用的热板上进行短暂加热，以稳定曝光图形。

之后则被其放入显影槽进行显影工作。

一步步的流程之后，最终才进入蚀刻阶段。

一直到晚上六点多，三片晶圆的流片工作才结束。

众人无论是有操作工作的，还是车间内等待的同志，都已经空了一整天肚子。

但这会儿众人非但不累，反而愈发激动与紧张！

随着吴培书将蚀刻后剩余的光刻胶彻底除去，清洗干净后的硅片被送到进口的高倍率显微镜下。

沈永健此刻已等在此处，调整着显微镜的焦距，进行最后的测试工作。

镜头在硅片表面缓慢移动，车间里鸦雀无声，只能听到自己的心跳和呼吸声。

每个人都死死盯着沈永健的背影和他放在目镜上的手。

卓邵文，顾江海与吴培书等人也已退出操作区，等在边上同样大气不敢出，眼神里满是期待和忐忑。

时间一分一秒过去，沈永健看得极其仔细，在几个关键区域反复观察。

由于低着头的缘故，众人虽看不到他表情，但却能看到他眉头不时的微蹙。

这沉默的几分钟对所有人来说都无比煎熬。

尤其是在沈永健紧锁眉头换第二片晶圆时，大家的心也跟着一点点往下沉。

都难得见沈总工这般严肃脸色，难不成是失败了？

直至一刻钟后，在沈永健将最后一片晶圆检查完成，眉头才舒展开来。

在众人的注视下，嘴角微微向上扬起，眼中闪烁着光芒，声音带着一种如释重负的喜悦。

“初次流片一共三片晶圆，第一片部分区域有毁损，算是失败。”

“还好后两片的图形清晰，线条完整，套刻精准，符合流片预期。”

“我宣布‘581-3’集成电路第一次流片…成功！”

…