第二百四十七章:深流 (第3/3页)
条件地同意了部分请求,但时间窗口给得非常紧。
接下来的两周,谢望城团队进入了高速旋转状态。一部分人留守基地实验室,根据有限的数据进行模拟和实验,尝试复现缺陷;谢望城亲自带着一名资深工艺工程师,全副武装地进入对方fab的特定观察区。隔着厚厚的玻璃,他们看着机械手臂精准地传送硅片,光刻机发出幽蓝的曝光光线,空气中弥漫着极度洁净带来的、近乎虚无的气味。他们不能触碰任何设备,但可以观察流程、记录设备型号和明显的环境参数,并与对方指派的对接人员进行有限的技术交流。
每一处细节都可能隐藏着答案:烘烤热板的温度均匀性如何?显影液的喷淋压力和角度是否有微调?甚至,fab内不同区域的微振动和气流模式是否可能产生影响?
信息碎片被源源不断地传回基地实验室。团队开始进行一场前所未有的、跨地域的“联合诊断”。他们发现,对方这条产线的曝光机型号较老,其光强均匀性和波段稳定性,与基地实验室用来做配方验证的更新型号设备存在微小差异。正是这微小的差异,与光刻胶配方中某种组分形成了“共振”,在特定工艺条件下被放大,引发了缺陷。
病因找到,但药方更难开。改动对方产线的设备参数不现实,只能调整自己的配方。这需要极精细的“微调”,既要消除缺陷,又不能影响其他已经达标的性能指标,更不能引入新的问题。
谢望城再次扎进了实验室。他们设计了一个精巧的“正交实验矩阵”,在极窄的参数窗口内,系统性地调整配方中几种关键添加剂的含量和比例。实验次数呈几何级数增长,数据分析工作量巨大。团队开始轮班,确保实验和数据解析24小时不间断。
在连续熬了第三个通宵后,谢望城眼睛里布满血丝,盯着屏幕上最后一次实验的数据流。当最终的关键曲线平稳地穿过合格区域,缺陷模拟指标归零时,他甚至没有立刻感到兴奋,而是一种近乎虚脱的平静。
改良后的配方样品紧急送交芯片厂。新一轮的小批量验证启动。等待结果的那几天,时间仿佛被拉长了无数倍。
最终,对方的工艺工程师打来电话,声音里带着一丝不易察觉的赞许:“谢博士,最新批次,缺陷消除,其他指标稳定。试用可以继续。另外……”他顿了顿,“我们对你们这种快速响应和深度解决问题的能力,印象深刻。或许,我们可以聊聊下一世代工艺中,一种更具挑战性的材料需求……”
挂掉电话,谢望城才感觉到迟来的疲惫如潮水般将他淹没,但更深处的,是一种穿越湍流、暂时稳住船身的踏实感。他意识到,产业化之路,不仅仅是技术转移,更是一场与客户工艺深度绑定、共同解决最前线问题的“贴身肉搏”。每一次问题的解决,不仅挽回了订单,更是一次宝贵的学习和信任积累。这比发表任何论文都更直接、更残酷,也更能锤炼真正的产业技术能力。
窗外的深圳,灯火依旧璀璨。这条奔腾不息的创新河流中,暗礁与湍流无处不在。但只有闯过去的人才知道,最危险的水域下面,往往也藏着通往新航道的可能。深流之下,方见真章。
